Bu deneysel çalışmada, metalik bir malzeme yüzeyine ince bir film tabakası olarak iki farklı polimer malzeme kullanılarak kaplama yapma şartları incelenmiştir. Pahalı olmayan çelik alt malzeme üzerine vakum şartlarında RF plazma yöntemi ile polimer malzeme kaplama işlemi yapılmıştır. Yüksek dayanım gerektirmeyen uygulamalarda kullanılmakta olan AISI 1050 çelik alt malzeme olarak seçilmiştir. Bu tür malzemelerin yüzeyine farklı bir malzeme grubu olan polimer malzeme kaplanmasıyla yeni özellikler kazandırılmak istenmiştir. Bu amaçla işlem süresi, plazma gücü ve ortam basınç değeri gibi işlem parametreleri değiştirilerek kaplama işlemleri gerçekleştirilmiştir. Kaplama malzemesi olarak iki farklı polimer malzeme kullanılmıştır. Bu malzemeler farklı karakteristik özelliklere sahip PolyTetraFlorEtilen (PTFE) ve Hexafluoropropylene (C3F6)’dir. Her iki malzemenin kaplanması esnasında aynı işlem parametreleri uygulanmaya çalışılmış ve kaplamanın istenilen özelliklerde olabilmesini sağlamak amacıyla işlem parametreleri değiştirilerek en uygun işlem şartları belirlenmiştir. Kaplama işlemi esnasında işlem parametresi olarak uygulanan plazma güç değeri azaldıkça kaplama kalınlığı her iki malzeme için de düşmüştür. Kaplama ortam basınç değerinin etkisini belirlemek amacıyla yapılan çalışmalar sonucunda basınç değeri düştükçe PTFE kaplamalarda kaplama kalınlığı azalırken, C3F6 kaplamalarda kaplama kalınlığı artmıştır. Her iki polimer malzemenin kaplanması esnasında uygulanan işlem süresi artıkça kaplama kalınlığı artmaktadır. Kaplama malzemeleri kendi aralarında karşılaştırıldığında PTFE polimer malzeme kaplama malzemesi olarak kullanılması durumunda daha büyük kaplama kalınlığı elde edilmiştir.